Các sản phẩm
Mục tiêu phún xạ titan tròn

Mục tiêu phún xạ titan tròn

Mục tiêu phún xạ titan tròn đóng vai trò là vật liệu nguồn cực âm-có độ tinh khiết cao cho hệ thống phún xạ magnetron và lắng đọng hơi vật lý (PVD). Được chế tạo từ các thỏi titan-nung chảy trong chân không, các mục tiêu hình tròn này mang lại cấu trúc vi mô đồng nhất để đảm bảo quá trình phóng plasma ổn định, tốc độ phát triển màng mỏng-có thể dự đoán được và độ dẫn điện ổn định trên các dây chuyền phủ chất bán dẫn, quang học và trang trí.
 

Tổng quan về sản phẩm

 

 

Mục tiêu phún xạ titan tròn đóng vai trò là vật liệu nguồn cực âm-có độ tinh khiết cao cho hệ thống phún xạ magnetron và lắng đọng hơi vật lý (PVD). Được chế tạo từ các thỏi titan-nung chảy trong chân không, các mục tiêu hình tròn này mang lại cấu trúc vi mô đồng nhất để đảm bảo quá trình phóng plasma ổn định, tốc độ phát triển màng mỏng-có thể dự đoán được và độ dẫn điện ổn định trên các dây chuyền phủ chất bán dẫn, quang học và trang trí.

 

 

Thông số kỹ thuật

 

 

độ tinh khiết

Lớp 1 (99,5%), Lớp 2 (99,7%), 99,9% (3N), 99,95% (3N5), 99,99% (4N), 99,995% (4N5)

Đường kính tiêu chuẩn

2 inch đến 16 inch (kích thước tùy chỉnh có sẵn theo yêu cầu)

Phạm vi độ dày

3 mm đến 20 mm

Cấu trúc vi mô

Kích thước hạt trung bình < 100 um với sự phân bố hạt đều

Tỉ trọng

> 4.51 g/cm3 (>Mật độ lý thuyết 99,5%)

Vật liệu tấm lót

Đồng (OFHC), đồng không chứa oxy- hoặc Nhôm (Có sẵn liên kết Indium hoặc chất đàn hồi)

Hoàn thiện bề mặt

Được gia công, mài hoặc đánh bóng (Ra<= 0.4 um), vacuum-cleaned and vacuum-packed

 

 

Các tính năng chính

 

 

Kích thước hạt mịn và đồng đều:Quá trình xử lý cơ học-nhiệt được kiểm soát sẽ ngăn ngừa hiện tượng quá nhiệt cục bộ, giảm việc tạo ra hạt và khuyết tật lỗ kim trong quá trình lắng đọng năng lượng-cao.
Tạp chất khí thấp:Mức độ xen kẽ của oxy, nitơ, cacbon và hydro được kiểm soát sẽ giảm thiểu-sự phóng hồ quang vi mô bên trong buồng chân không.
Độ bền liên kết luyện kim cao:Quét siêu âm xác nhận phạm vi liên kết > 95% giữa tấm mục tiêu titan và tấm nền bằng đồng, đảm bảo truyền nhiệt và điện tối ưu.
Dung sai kích thước chính xác:Gia công CNC duy trì dung sai đường kính ngoài và độ dày trong khoảng +/- 0.1 mm để lắp hệ thống chính xác.

 

 

Ứng dụng

 

 

Chất bán dẫn & Vi điện tử:Lắng đọng điện cực cổng, rào cản khuếch tán và lớp mầm cho mạch tích hợp.

Lớp phủ quang học:Lớp phủ chống{0}}phản chiếu (AR), bộ lọc quang học và các cải tiến về độ chính xác của ống kính.

Kính kiến ​​trúc & ô tô:Lớp phủ-có độ phát xạ thấp (Thấp{1}}E) và màng kiểm soát năng lượng mặt trời dành cho kính-tiết kiệm năng lượng.

Trang trí & chống mài mòn-PVD chống mài mòn:Các lớp chức năng titan nitride (TiN) hoặc titan carbo-nitride (TiCN) dành cho phần cứng, đồng hồ đeo tay và dụng cụ cắt.

 

 

Tùy chỉnh & Sản xuất

 

 

Quá trình sản xuất sử dụng phương pháp nấu chảy cảm ứng chân không (VIM), nấu chảy lại hồ quang chân không (VAR), rèn đa hướng và cán chính xác. Lộ trình xử lý này phá vỡ các cấu trúc đúc để loại bỏ các lỗ co ngót bên trong.
Hình học tùy chỉnh:Các cạnh bậc thang, góc xiên, lỗ làm mát có ren và đường kính không{0}}tiêu chuẩn được ánh xạ tới súng âm cực cụ thể (ví dụ: Angstrom Sciences, AJA International, Lesker).
Dịch vụ liên kết:Liên kết indi và liên kết đàn hồi được thực hiện-trong nhà để chịu được mật độ năng lượng cao mà không bị khử liên kết nhiệt.

 

 

Kiểm soát chất lượng và chứng nhận

 

 

Phân tích hóa học:Phép đo khối phổ plasma kết hợp cảm ứng (ICP-MS) và phép đo khối phổ phóng điện phát sáng (GDMS) xác minh nồng độ nguyên tố kim loại và nguyên tố kẽ. Mỗi lô đều có Chứng nhận Phân tích (CoA) chuyên dụng.
Thử nghiệm không{0}}phá hủy (NDT):Kiểm tra quét C- bằng siêu âm đánh giá tính toàn vẹn liên kết giữa mục tiêu và tấm nền, sàng lọc các khoảng trống hoặc sự phân tách bên trong.
Kiểm tra kim loại:Kính hiển vi quang học xác nhận sự phân bố kích thước hạt và tính đồng nhất pha.
Tuân thủ tiêu chuẩn:Sản xuất theo hệ thống quản lý chất lượng ISO 9001:2015.

 

 

Đóng gói & Giao hàng

 

 

Bao bì chính:Túi polyetylen đôi kín- cấp chân không cấp độ phòng sạch chứa đầy khí argon trơ.
Bao bì thứ cấp:Khuôn xốp EPE có khả năng hấp thụ sốc treo-được đặt trong các thùng gỗ dán xuất khẩu-hạng nặng để tránh sứt mẻ cạnh hoặc trầy xước bề mặt trong quá trình vận chuyển.
Tài liệu đi kèm:Giấy chứng nhận phân tích, Bảng dữ liệu an toàn vật liệu (MSDS) và báo cáo kiểm tra kích thước.

 

 

Câu hỏi thường gặp

 

 

Câu hỏi: Tôi nên chọn mức độ tinh khiết nào cho các ứng dụng quang học so với PVD trang trí?

Đáp: Các ứng dụng màng mỏng quang học-thường yêu cầu độ tinh khiết 99,99% (4N) hoặc cao hơn để loại bỏ các vết tạp chất kim loại gây ra sự hấp thụ hoặc tán xạ ánh sáng. Dây chuyền phủ trang trí xử lý các lớp chức năng như TiN thường sử dụng độ tinh khiết 99,9% (3N) để cân bằng độ ổn định lắng đọng với hiệu quả chi phí vật liệu.

Câu hỏi: Làm cách nào để ngăn chặn hiện tượng nứt mục tiêu trong quá trình phún xạ xung magnetron công suất cao (HiPIMS)?

Đáp: Việc nứt mục tiêu được giảm thiểu thông qua các đường rèn và lăn chéo-hướng đa hướng nghiêm ngặt nhằm đảm bảo cấu trúc hạt mịn được kết tinh lại hoàn toàn dưới 100 um. Sự định hướng tinh thể đồng nhất này phân phối ứng suất nhiệt đồng đều dưới mật độ năng lượng cao.

Câu hỏi: Mật độ năng lượng tối đa cho các mục tiêu được liên kết so với các mục tiêu nguyên khối không được liên kết là bao nhiêu?

Trả lời: Các mục tiêu nguyên khối không được liên kết thường bị giới hạn ở mật độ năng lượng thấp hơn do khả năng cản nhiệt qua khe hở không khí giữa mục tiêu và lớp nền cực âm. Các mục tiêu được liên kết sử dụng giao diện Indium hoặc chất đàn hồi có thể xử lý tải công suất cao hơn (vượt quá 15 W/cm2) với điều kiện duy trì được dòng nước lạnh hiệu quả.

Hỏi: Bạn có thể khớp các bản vẽ tấm nền tùy chỉnh cho các hệ thống phún xạ kế thừa hoặc độc quyền không?

Đ: Vâng. Sản xuất cung cấp các thiết kế tấm lót tùy chỉnh. Kỹ thuật đánh giá các bản vẽ STEP, IGES hoặc 2D PDF để phù hợp với cấu hình kênh-nước cụ thể, vị trí rãnh vòng chữ O-và các yêu cầu về mẫu bu lông-.

Câu hỏi: Phương pháp kiểm tra nào xác minh tính toàn vẹn liên kết của các mục tiêu được hàn?

Đáp: Kiểm tra không-quét phá hủy bằng siêu âm C-kiểm tra toàn bộ giao diện liên kết. Bất kỳ diện tích không liên kết cục bộ nào hoặc khoảng trống vượt quá 5% tổng diện tích bề mặt hoặc bất kỳ khoảng trống đơn lẻ nào lớn hơn 5 mm đều bị loại bỏ.

Hỏi: Thời gian giao hàng tiêu chuẩn cho các đơn hàng nguyên mẫu và lô sản xuất là bao lâu?

Trả lời: Kích thước chứng khoán tiêu chuẩn sẽ được vận chuyển trong vòng 3 đến 5 ngày làm việc. Các mục tiêu được gia công-tùy chỉnh hoặc cụm liên kết cần từ 2 đến 3 tuần, tùy thuộc vào tình trạng sẵn có của vật liệu và độ phức tạp của cấu hình tấm nền.

 

 

Yêu cầu báo giá

 

 

Gửi thông số kỹ thuật mục tiêu (độ tinh khiết, kích thước, số lượng, yêu cầu tấm nền và kiểu cực âm mục tiêu) để nhận báo giá chính thức và bảng dữ liệu vật liệu trong vòng 24 giờ làm việc.

Chú phổ biến: mục tiêu phún xạ titan tròn, mục tiêu phún xạ titan tròn Trung Quốc nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy

Gửi yêu cầu