Mục tiêu phún xạ Titan phẳng

Mục tiêu phún xạ titan phẳng được sản xuất từ ​​​​các thỏi titan nóng chảy cảm ứng chân không và được xử lý cơ nhiệt. Được thiết kế cho cấu hình phún xạ magnetron DC và RF, các mục tiêu phẳng này giúp lắng đọng màng mỏng-ổn định, đồng đều trên các dây chuyền chế tạo chất bán dẫn, buồng phủ quang học và hệ thống PVD công nghiệp. Các cấu trúc vi mô được kiểm soát đảm bảo tốc độ xói mòn mục tiêu nhất quán, hiệu suất phún xạ có thể dự đoán được và tạo ra hạt tối thiểu trong quá trình chạy công suất cao-kéo dài.

Kích thước hạt được kiểm soát:Sự phân bố hạt mịn, đều nhau ngăn chặn hiện tượng rỗ cục bộ và giảm sự hình thành nốt sần mục tiêu trong chu kỳ lắng đọng kéo dài.
Tạp chất kẽ thấp:Nấu chảy chân không duy trì giới hạn mức ppm{0}}nghiêm ngặt đối với Oxy, Nitơ, Hydro và Carbon để loại bỏ ô nhiễm màng.
Ma trận mật độ cao:Các cấu trúc hoàn toàn dày đặc giúp loại bỏ các vi lỗ bên trong, ngăn ngừa hiện tượng phóng hồ quang vi mô trong quá trình phún xạ phản ứng tốc độ cao.
Tính toàn vẹn của giao diện nhiệt:Liên kết Indium hoặc khuếch tán được tối ưu hóa duy trì độ dẫn nhiệt vượt quá 120 W/mK, ngăn chặn sự phân tách ứng suất nhiệt dưới tải mật độ công suất cao.

Chất bán dẫn & Vi điện tử:Các lớp rào cản, lớp tiếp xúc và kim loại hóa kết nối trong chế tạo mạch tích hợp.
Lớp phủ quang học:Ngăn xếp chống{0}}phản xạ (AR), bộ lọc điện môi và lớp oxit dẫn điện trong suốt (TCO) cho quang học chính xác.
Màn hình phẳng:Điện cực dẫn điện và lớp đệm cho dây chuyền sản xuất OLED và LCD.
Kính kiến ​​trúc & ô tô:Lớp phủ kính kiến ​​trúc có khả năng kiểm soát năng lượng mặt trời và độ phát xạ thấp (Thấp{1}}E).
Lớp phủ cứng trang trí & mài mòn:Lớp phủ chức năng titan nitride (TiN) và titan carbonitride (TiCN) cho dụng cụ cắt, phần cứng công nghiệp và linh kiện ô tô.

Gia công nấu chảy và cơ nhiệt:Công nghệ nấu chảy lại hồ quang chân không (VAR) kết hợp với các tuyến rèn nóng nhiều-trục và cán chéo- để loại bỏ hiện tượng dị hướng cơ học định hướng.
Gia công chính xác:Các nguyên công phay CNC và mài bề mặt đạt được dung sai độ phẳng trong khoảng +/- 0.1 mm và độ nhám bề mặt xuống Ra < 0,4 um.
Hình học tùy chỉnh:Quá trình chế tạo xử lý các đường viền hình chữ nhật, hình tròn,-phân đoạn, mối nối-bước và đường viền tùy chỉnh được ánh xạ trực tiếp tới các bản vẽ cực âm độc quyền.
Kỹ thuật tấm nền:Thiết kế và chế tạo tùy chỉnh các tấm nền bằng đồng hoặc nhôm OFHC có các kênh nước làm mát được căn chỉnh chính xác-và các rãnh bịt kín vòng chữ O-.

Xác minh phân tích:Khối phổ phóng điện phát sáng (GDMS) hoặc ICP-OES chứng nhận độ tinh khiết số lượng lớn và theo dõi mức độ tạp chất kim loại/lách.
Kiểm tra luyện kim:Kính hiển vi quang học và Nhiễu xạ tán xạ ngược điện tử (EBSD) xác nhận tính đồng nhất của kích thước hạt và hướng tinh thể.
Thử nghiệm không{0}}phá hủy (NDT):Thử nghiệm quét siêu âm C- xác minh tính toàn vẹn liên kết 100%, đảm bảo không có túi không liên kết có đường kính vượt quá 3 mm.
Truy xuất nguồn gốc và tuân thủ quy định:Được sản xuất theo hệ thống quản lý chất lượng được chứng nhận ISO 9001. Mỗi lô sản xuất đều có Chứng nhận Phân tích (CoA) chi tiết gắn liền với nhiệt lượng phôi cụ thể, cùng với các Mẫu báo cáo RoHS, REACH và Xung đột Khoáng chất (CMRT) đã được xác minh đầy đủ.

Niêm phong chân không bảo vệ:Được đóng gói riêng lẻ trong các-túi polyetylen chống tĩnh điện và được hút chân không-trong môi trường thanh lọc nitơ- để ngăn chặn quá trình oxy hóa trong quá trình vận chuyển.
Bảo vệ tác động:Được cố định bằng các miếng xốp huyền phù bằng polyetylen mật độ cao bên trong các thùng gỗ xuất khẩu- để tránh sứt mẻ, uốn cong hoặc hư hỏng bề mặt.
Hậu cần toàn cầu:Vận chuyển hàng hóa đường biển và hàng không quốc tế phối hợp được hỗ trợ bởi chứng từ thông quan đầy đủ.

Gửi thông số kỹ thuật hoặc bản vẽ kỹ thuật của bạn để nhận báo giá thương mại chính thức, báo cáo kiểm tra vật liệu được chứng nhận (MTR), xác minh tuân thủ và thời gian thực hiện được xác minh.
Thông số RFQ bắt buộc:Cấp độ tinh khiết của vật liệu (ví dụ: 99,995%), kích thước chính xác (Dài x Rộng x Độ dày), trạng thái tấm nền (không liên kết so với liên kết với loại vật liệu) và khối lượng mua sắm hàng năm hoặc theo đợt ước tính.
Liên hệ kỹ thuật và bán hàng trực tiếp:[Chèn liên kết biểu mẫu gửi email / RFQ]

Chú phổ biến: mục tiêu phún xạ titan phẳng, mục tiêu phún xạ titan phẳng Trung Quốc nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy